廢氣處理工藝一般包括吸收法、吸附法、燃燒法、冷凝法及生物法幾種工藝。各工藝原理介紹如下。
1.吸收法：吸收法采用低揮發或不揮發性溶劑對廢氣中的有害成分進行吸收，再利用廢氣有害成分與吸收劑物理性質的差異進行分離的方法。吸收法分為物理吸收及化學吸收又包括酸吸收法、堿吸收法、氧化還原吸收法等。
2. 吸附法：吸附法是使混合氣體與多孔性固體接觸時，利用固體表面存在的未平衡的分子吸引力或化學鍵力，把混合氣體中的有害物成分吸附留在固體表面的方法。吸附法有使用中表現了如下的特點：①可以相當徹底地凈化廢氣，特別是利用吸附法來處理低濃度廢氣比其它方法顯現出更大的優；②在不使用深冷、高壓等手段下，可以有效地回收有價值的有機物組分。由于吸附劑對被吸附組分吸附容量的限制，吸附法最適于處理低濃度有機廢氣。
3.燃燒法：用燃燒方法將有害氣體或煙塵轉化為無害物質的過程為燃燒法凈化，也稱焚燒法。燃燒法凈化時所發生的化學反應主要是燃燒氧化作用及高溫下的熱分解。溫度范圍為600~1100℃, 因此，這種方法只能適用于凈化那些可燃的或在高溫情況下可以分解的而且是中、高濃度范圍的含可燃性組分的廢氣。
4.冷凝法：冷凝法是利用物質在不同溫度下具有不同飽和和蒸氣壓這一性質，采用降低溫度、提高系統的壓力或者既降低溫度又提高壓力的方法，使處理蒸氣狀態的污染物冷凝并與廢氣分離。該方法適用于處理廢氣體積分數在10-2以上的有機蒸氣，不適宜處理低濃度的有機氣體，而常作為其他方法凈化高濃度廢氣的前處理，以降低有機負荷，回收有機物。
5.生物凈化法：生物凈化法實質是附著濾料介質中的微生物在適宜的環境備件條件下，利用廢氣中的有機成分作為碳源和能源，維持其生命活動，并將有機物分解為CO2和H2O的過程。該處理方法適用于處理低濃度、生物降解性好的氣態污染物。
